微信號(hào):shidai17
儀器二部: 010-62952933 微信:13811531550
項(xiàng)目
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描述
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垂直量程
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±50μm、±200μm兩檔可調(diào)
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系統(tǒng)分辨力
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滿(mǎn)量程時(shí)8納米
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顯示分辨率
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0.001μm
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濾波方式
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GAUSS、2RC、ISO13565
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標(biāo)準(zhǔn)
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ISO1997、ANSI、JIS2001
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取樣長(zhǎng)度L/驅(qū)動(dòng)速度Vt
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L = 0.08mm / Vt = 0.25mm/s L = 0.25mm / Vt = 0.25mm/s L = 0.8mm / Vt = 0.5mm/s L = 2.5mm / Vt = 1mm/s 返程速度均為1mm/s
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評(píng)定長(zhǎng)度Ln
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Ln = (1~5)L
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示值誤差 / 示值重復(fù)性
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10% / 6%
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測(cè)量參數(shù)
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Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2
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工作環(huán)境
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溫度0 ~ 40℃ 濕度<90%RH
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儲(chǔ)運(yùn)環(huán)境
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溫度﹣40℃~60℃ 濕度<90%RH
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外形尺寸和重量
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156 X75 X 56mm,760g
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傳感器驅(qū)動(dòng)套
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29 X 26 X 120mm
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